La valeur cible de l'humidité relative dans une salle blanche pour semi-conducteurs (FAB)

La valeur cible de l'humidité relative dans une salle blanche pour semi-conducteurs (FAB) est d'environ 30 à 50 %, ce qui permet une faible marge d'erreur de ±1 %, comme dans la zone de lithographie – ou encore moins dans le traitement aux ultraviolets lointains (DUV). zone – alors qu’ailleurs, elle peut être assouplie à ±5 %.
Parce que l’humidité relative présente une série de facteurs qui peuvent réduire les performances globales des salles blanches, notamment :
1. Croissance bactérienne ;
2. Plage de confort de température ambiante pour le personnel ;
3. Une charge électrostatique apparaît ;
4. Corrosion des métaux ;
5. Condensation de vapeur d'eau ;
6. Dégradation de la lithographie ;
7. Absorption d'eau.

Les bactéries et autres contaminants biologiques (moisissures, virus, champignons, acariens) peuvent se développer dans des environnements dont l'humidité relative est supérieure à 60 %. Certaines communautés bactériennes peuvent se développer à une humidité relative supérieure à 30 %. L'entreprise estime que l'humidité doit être contrôlée entre 40 et 60 %, ce qui peut minimiser l'impact des bactéries et des infections respiratoires.

Une humidité relative comprise entre 40 % et 60 % constitue également une plage modérée pour le confort humain. Trop d'humidité peut rendre les gens étouffants, tandis qu'une humidité inférieure à 30 % peut provoquer une sensation de peau sèche et gercée, une gêne respiratoire et un malheur émotionnel.

L’humidité élevée réduit en fait l’accumulation de charges électrostatiques sur la surface de la salle blanche – un résultat souhaité. Une faible humidité est idéale pour l’accumulation de charges et constitue une source potentiellement dommageable de décharge électrostatique. Lorsque l'humidité relative dépasse 50 %, les charges électrostatiques commencent à se dissiper rapidement, mais lorsque l'humidité relative est inférieure à 30 %, elles peuvent persister longtemps sur un isolant ou une surface non mise à la terre.

Une humidité relative comprise entre 35 % et 40 % peut être utilisée comme compromis satisfaisant, et les salles blanches pour semi-conducteurs utilisent généralement des contrôles supplémentaires pour limiter l'accumulation de charges électrostatiques.

La vitesse de nombreuses réactions chimiques, y compris les processus de corrosion, augmente avec l’augmentation de l’humidité relative. Toutes les surfaces exposées à l’air autour de la salle blanche sont rapides.