La valeur cible de l'humidité relative dans une salle blanche de semi-conducteurs (FAB)

La valeur cible de l'humidité relative dans une salle blanche de semi-conducteurs (FAB) est d'environ 30 à 50 %, ce qui permet une marge d'erreur étroite de ± 1 %, comme dans la zone de lithographie – ou même moins dans la zone de traitement ultraviolet lointain (DUV) – tandis qu'ailleurs elle peut être relâchée à ± 5 %.
Parce que l'humidité relative comporte une série de facteurs qui peuvent réduire les performances globales des salles blanches, notamment :
1. Croissance bactérienne ;
2. Plage de température ambiante confortable pour le personnel ;
3. Une charge électrostatique apparaît ;
4. Corrosion des métaux ;
5. Condensation de vapeur d’eau ;
6. Dégradation de la lithographie ;
7. Absorption d'eau.

Les bactéries et autres contaminants biologiques (moisissures, virus, champignons, acariens) peuvent proliférer dans des environnements dont l'humidité relative dépasse 60 %. Certaines communautés bactériennes peuvent se développer à une humidité relative supérieure à 30 %. L'entreprise estime qu'un taux d'humidité compris entre 40 % et 60 % devrait être maintenu afin de minimiser l'impact des bactéries et des infections respiratoires.

Une humidité relative comprise entre 40 et 60 % constitue également une plage modérée pour le confort humain. Une humidité excessive peut entraîner une sensation d'étouffement, tandis qu'une humidité inférieure à 30 % peut provoquer une peau sèche et gercée, des difficultés respiratoires et un mal-être émotionnel.

Une humidité élevée réduit en réalité l'accumulation de charges électrostatiques sur la surface de la salle blanche, ce qui est un résultat souhaité. Une faible humidité est idéale pour l'accumulation de charges et constitue une source potentiellement dangereuse de décharges électrostatiques. Lorsque l'humidité relative dépasse 50 %, les charges électrostatiques commencent à se dissiper rapidement, mais lorsqu'elle est inférieure à 30 %, elles peuvent persister longtemps sur un isolant ou une surface non mise à la terre.

Une humidité relative comprise entre 35 % et 40 % peut être utilisée comme compromis satisfaisant, et les salles blanches pour semi-conducteurs utilisent généralement des contrôles supplémentaires pour limiter l'accumulation de charges électrostatiques.

La vitesse de nombreuses réactions chimiques, y compris les processus de corrosion, augmente avec l'augmentation de l'humidité relative. Toutes les surfaces exposées à l'air autour de la salle blanche sont rapides.