SOLUTION BSLtech Semi-conducteurs
Développer votre expertise au sein de l’industrie des semi-conducteurs nécessite souvent des salles blanches ou des enceintes à flux laminaire de classe ISO élevée (ISO 5 ou supérieure). Vous travaillez avec des processus sensibles aux UV ? Même dans ce cas, BSL fournit la salle blanche adaptée. Les salles blanches disposent d'une finition murale de haute qualité et d'un éclairage avec filtre UV. Grâce à l'utilisation de matériaux antistatiques (ESD) et de barres antistatiques sur le système de filtrage, la charge statique présente dans l'air est neutralisée.
Lorsque le dégazage n’est pas souhaité, BSL propose une salle blanche de matériaux non dégazants (PU). Cette technologie trouve son origine dans l'industrie aérospatiale.
Processus typiques dans l'industrie des semi-conducteurs :
● Protection des substrats et des plaquettes de silicium
● Recherche EUV
● Aligneurs de masques
● Revêtement sous vide, dépôt de couches minces
● Applications d'impression
● Optique
Processus front-end et back-end